檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Lithography".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="原子力顯微鏡"
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本文利用原子力顯微鏡之奈米氧化術,直接在單晶矽表面上產生局部陽極氧化(Tip-Induced Local Anodic Oxidation),並以導電探針施加偏壓的方式來進行奈米氧化線及奈米仿圓形圖…
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不論是筆記型電腦或數位相機等消費性電子產品在現代人的生活中皆是不可或缺的必需品,並往輕薄短小的目標邁進。因此,如何在矽晶圓上製作奈米尺寸之圖案,成為縮小電子元件之關鍵技術。 本論文提出的掃描探針微影…